一、背景：日本Hitachi 场发射扫描电镜S-4800是一款利用电子束与物质相互作用产生的各种信号进行成像，对样品进行形貌和成份分析。利用二次电子图象、背散射电子图象，可进行生物、化学、矿物、半导体、纳米材料等金相样品、断口样品的表面形貌观察；利用能谱仪进行微区成分分析。Hitachi S-4800场发射扫描电镜采用了新型ExB式探测器和电子束减速能提高了图象质量(15kV下分辨率1nm)，尤其是将低加速电压下的图象质量提高到了新的水平(1kV下1.4nm);由于振动干扰可能会对成像造成影响，使用AVI-400XL-对周边振动源进行消除减震，可保证了高效快速精确检测及稳定的成像效果。
二、使用单位：中国某知名半导体厂家
三、设备型号：日本Hitachi 场发射扫描电镜S-4800
四、减震|隔振方案：Table stable AVI-400XL
五、可应用领域：
➯扫描电子显微镜 SEM
➯投射电子显微镜 TEM
➯扫描隧道显微镜 STM
➯原子力显微镜AFM
➯其他超精密设备
六、Table stable AVI-400XL 主动减震系统 主要优势：
◆主动隔振性能优异：1Hz开始主动隔振，10Hz以上迅速增加到35dB
◆三轴六个空间自由度全方位主动隔振
◆响应时间短（5-20ms），无需空气
◆超低频消振，无任何低频共振，优于被动气浮、阻尼系统
◆系统固有刚度具有出色的方向和位置稳定性
◆采用高灵敏度压电传感器技术，主动检测并动态消除
◆长期稳定性，可多年无故障使用
◆结构紧凑、模块化，可支持更高负载（400kg/800kg/1200kg）
◆操作轻松简便： 打开电源开关按钮 → 自动执行负载补偿(自动调平） → 开启隔震/隔振功能
◆精密自动高度调整机制：即使负载发生重大变化，也能快速稳定到最佳工作水平
◆安装简单：独立的隔振模块安装不需借助任何大型工具，安装过程省心省力
◆可配置低频传感器：将隔振频率延伸至0.5Hz开始，增强低频隔振减震效果
（图：Table Stable - AVI-400XL）
七、Table stable AVI-400XL 主动减震系统 技术指标：
| 型号 | 隔振单元重量 | 单元尺寸(每个) |
| AVI-400XL/LP | 23.2 kg | 230 x 856 x 112.5 Hmm |
系统配置 （System Configuration） | 基本配置：两个独立隔振装置 & 一个控制装置 |
控制器尺寸（Size） | 241 x 287 x 142 Hmm |
负载能力（Load capacity） | 0~800 kg（单个隔振模块为0~400Kg） |
隔离技术（Isolation technology） | 高灵敏度压电传感器与快速低功耗致动器 |
校正方向（Correction directions） | 三轴六自由度全方位隔振； 针对所有六种平移和旋转振动模式的主动隔振。 |
隔离范围（Isolation） | 频率: 1～ 200 Hz主动隔振，200 Hz以上为被动隔振 |
传递率（Transmissibility） | 在~10Hz以上传递率＜0.017（-35dB），超过100Hz取决于负载 |
矫正力（Correction Forces） | 水平方向最大8N，垂直方向最大16N |
静态柔度（Static Compliance） | 垂直约1.75µm/N，水平约3.5µm/N |
系统噪音（System Noise） | 在任何方向的0.1-200 Hz范围内小于50ng/√Hz |
输入电压（Input Voltage） | 100 ～ 120 ＶAC, 200 ～ 240 VAC, 50-60 Hz |
功耗（Power Consumption） | 通常为18W |
过载指示(Overload Indication) | 16个led表示输出阶段的过载状态 |
监视器信号(Monitor Signal) | 可在示波器上显示多路复用信号显示有隔离和无隔离的8个轴振动水平 |
安全等级(Safety class) | 1 |
防护等级(Protection class) | IP 20 |
温度范围(Temperature range) | 5 ℃ ～ 40 ℃ /41°-104°F |
相对湿度 （Relative humidity） | 10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃/ 41°-86°F） 10 ～ 60 %（30 ～ 40℃ / 86°-104°F） |
使用场所（Application） | 仅用于室内 |
工作高度（Altitude） | 高达2,000 m（6500ft） |
*选项一： 低频传感器(LFS-3) | 配置低频传感器，可将主动隔振频率从0.5Hz起，增强低频隔振效果。 |
*选项二： 遥控箱（Remote control box） | 远程遥控控制，可以连接到D-Sub插座可在设备外部实现打开和关闭隔振开关。 |
*选项三： 调制盒(Modulation Input box) | 允许将激励信号应用于AVI系列主动隔振系统，以便该系统可以用作任何方向的振动激励器。 |
八、Table stable AVI-400XL 主动隔振系统-主动减震台-隔振效果：
性能对比图：当使用AVI系列主动隔振系统搭载高倍分辨率精密仪器时（如电子显微镜等），在主动隔振系统功能启动前后所得图像，表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。
